Ученые кафедры опубликовали монографию по ионно-лучевому модифицированию материалов СВЧ микроэлектроники

     Сотрудниками кафедры «Сварка и металлургия» Института  электронной и техники и машиностроения доцентом И.В. Перинской и профессором И.В. Родионовым совместно с профессором Физико-технического института В.В. Перинским опубликована монография, посвященная вопросам разработки технологии ионно-лучевого   конструирования материалов  СВЧ микроэлектроники: Перинская И.В., Родионов И.В., Перинский В.В. Мир материалов и технологий: ионно-лучевое конструирование материалов СВЧ микроэлектроники: монография / И.В. Перинская, И.В. Родионов, В.В. Перинский. – Саратов: ИЦ «Наука», 2016. – 244 с.
    Книга посвящена разработке физических основ ионно-лучевой технологии микроприборов сверхвысоких частот на арсениде галлия, особенностям  применения ускоренных ионов водорода и гелия  при создании субмикронных изолирующих  областей в монокристаллическом арсениде галлия и эпитаксиальных структурах,  имплантации ионов гелия и аргона в металлические слои ИС СВЧ, проблеме качества полупроводниковых структур арсенида галлия, а также роли процессов кластеризации в технологии легирования и изоляции.
    Предложены ионно-модифицированные варианты безрезистной литографии, изготовления СВЧ полевых транзисторов, металлических резисторов и межслойных конденсаторов, датчиков; способы ионно-лучевой защиты поверхности микроэлектронных изделий  от внешних и химических воздействий, ионно-модифицированные аналоги драгоценных металлов для монолитных СВЧ устройств.
Книга предназначена научным работникам, занимающимся  исследованиями в области физики полупроводников АIIIВV для СВЧ микроэлектроники, а также аспирантам, специализирующимся на этой актуальной научной проблеме.

---